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Technische Regel [AKTUELL]

DIN SPEC 52407:2015-03

Nanotechnologien - Methoden zur Präparation und Auswertung für Partikelmessungen mit Rasterkraftmikroskopie (AFM) und Rasterelektronenmikroskopie im Transmissionsmodus (TSEM)

Englischer Titel
Nanotechnologies - Methods for preparation and assessment for particle measurements with atomic force microscopy (AFM) and transmission scanning electron microscopy (TSEM)
Ausgabedatum
2015-03
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
23
Verfahren
Fachbericht

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Ausgabedatum
2015-03
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
23
Verfahren
Fachbericht
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2296172

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Einführungsbeitrag

Diese DIN SPEC beinhaltet eine Methodensammlung zur sicheren und reproduzierbaren Präparation von eng verteilten Referenz-Nanopartikeln auf ebenen Flächen sowie deren Größenmessung und Auswertung.
Die beschriebenen Verfahren sind anwendbar auf die Präparation und Untersuchung einzelner oder an Ketten aneinander liegender Partikel sowie Monolagenschichten im Größenbereich unter 1 µm.
Für diese Norm ist das Gremium NA 062-08-17-02 UA "Prüfverfahren" im DIN zuständig.

Inhaltsverzeichnis
ICS
07.120
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2296172

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