Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik
Die Normenreihe DIN 32564 wurde vom Arbeitsausschuss "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im NAFuO erstellt. Sie soll Begriffe in dem Gebiet Mikrosystemtechnik klären. Es ist beabsichtigt, die ...