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Norm [AKTUELL]
DIN 32564-2:2004-05
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung
- Englischer Titel
- Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production
- Ausgabedatum
- 2004-05
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 5
- Ausgabedatum
- 2004-05
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 5
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/9547788
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