Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014) (deutsche Fassung)
Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson`s ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014) (german version)