OEVE/OENORM EN 62047-10:2012-05-01

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-10:2011) (deutsche Fassung)

Englischer Titel: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10:2011) (german version)
Ausgabedatum: 2012-05-01
Originalsprachen: Deutsch
Seiten: 13

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