Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschictwerkstoffen der Milkrosystemtechnik
Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials