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Norm [AKTUELL]

NF C96-050-16:2015-11-14

NF EN 62047-16:2015-11-14

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMS-Bauteilen - Substratkrümmungs- und Biegebalken-Verfahren

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
Ausgabedatum
2015-11-14
Originalsprachen
Französisch
Seiten
15

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2015-11-14
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