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Norm [AKTUELL]

NF C96-050-10:2012-12-01

NF EN 62047-10:2012-12-01

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: micro-pillar compression test for MEMS materials
Ausgabedatum
2012-12-01
Originalsprachen
Französisch
Seiten
15

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