Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilierung - Zerstörungsfreie Tiefenprofilierung nanoskaliger Schwermetalloxid-Dünnschichten auf Si-Substraten mit mittelenergetischer Ionenstreuung
Englischer Titel
Surface chemical analysis - Depth profiling - Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
Ausgabedatum
2022-06
Originalsprachen
Englisch
Seiten
29
Ausgabedatum
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29
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ICS
71.040.40
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