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IEC 62047-4:2008-08
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik
- Englischer Titel
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specifications for MEMS
- Ausgabedatum
- 2008-08
- Originalsprachen
- Englisch, Französisch
- Seiten
- 38
- Ausgabedatum
- 2008-08
- Originalsprachen
- Englisch, Französisch
- Seiten
- 38
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