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Norm [AKTUELL]
DIN ISO 18516:2020-11
Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung (ISO 18516:2019); Text Englisch
- Englischer Titel
- Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometers to micrometers (ISO 18516:2019); Text in English
- Ausgabedatum
- 2020-11
- Originalsprachen
- Englisch
- Seiten
- 63
- Ausgabedatum
- 2020-11
- Originalsprachen
- Englisch
- Seiten
- 63
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/3173554
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Einführungsbeitrag
Diese Internationale Norm beschreibt Verfahren zur Messung der lateralen Auflösung und Schärfe bei bildgebender chemischer Oberflächenanalyse. Das zuständige nationale Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-16 AA "Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Inhaltsverzeichnis
ICS
71.040.40
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3173554
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