Chemische Analytik an Oberflächen. Chemische Methoden für die Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumscheiben-Arbeits-Referenzmaterialien und deren Bestimmung mit Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)
Englischer Titel
Surface chemical analysis. Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy