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Technische Regel [AKTUELL]

IEC/TR 63258:2021-03

Nanotechnoogien - Ein Leitfaden zur Bestimmung der Dicke nanoskaliger Filme mit Hilfe von Ellipsometrie

Englischer Titel
Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
Ausgabedatum
2021-03
Originalsprachen
Englisch
Seiten
21

ab 166,50 EUR inkl. MwSt.

ab 155,61 EUR exkl. MwSt.

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Ausgabedatum
2021-03
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Englisch
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21

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ICS
07.120

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