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Norm [AKTUELL]

UNE-EN 62047-26:2016-06-01

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (Endorsed by AENOR in June of 2016.)
Ausgabedatum
2016-06-01
Originalsprachen
Englisch
Seiten
29

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