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Norm [AKTUELL]

SN EN 62374-1+CORR:2011-04

Halbleiterbauelemente - Teil 1: Prüfung auf zeitabhängigen dielektrischen Durchbruch (TDDB) bei Isolationsschichten zwischen metallischen Leiterbahnen

Englischer Titel
Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers
Ausgabedatum
2011-04
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
16

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Normen-Ticker 1
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