Schichtdickenmessung und Charakterisierung von Oberflächen mittels Oberflächenwellen - Teil 1: Leitfaden zur Bestimmung von elastischen Konstanten, Dichte und Dicke von Schichten mittels laserinduzierten Ultraschall-Oberflächenwellen
Englischer Titel
Thickness measurement of coatings and characterization of surfaces with surface waves - Part 1: Guide to the determination of elastic constants, density and thickness of films by laser induced surface acoustic waves