Chemische Analytik an Oberflächen. Tiefenprofilanalyse. Messung der Ionenstrahlzerstäubungs-Geschwindigkeit mittels der Gitter-Kopiermethode mit dem mechanischen Stylus Profilometer
Englischer Titel
Surface chemical analysis. Depth profiling. Measurement of sputtering rate. Mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer