Hochleistungskeramik - Prüfmethode für die kristalline Qualität von Siliciumcarbid (SiC) -Einkristallen unter Verwendung von hochauflösender Röntgenbeugung XRD
Englischer Titel
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
Ausgabedatum
2020-08
Originalsprachen
Englisch
Seiten
29
Ausgabedatum
2020-08
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Seiten
29
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ICS
81.060.30
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