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Norm [AKTUELL]

ISO 21466:2019-12

Mikrobereichsanalyse - Rasterelektronenmikroskopie - Verfahren zur Bewertung kritischer Maße durch CD-SEM

Englischer Titel
Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
Ausgabedatum
2019-12
Originalsprachen
Englisch
Seiten
47

ab 190,80 EUR inkl. MwSt.

ab 178,32 EUR exkl. MwSt.

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2019-12
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Englisch
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47

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ICS
37.020

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