Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionenmassenspektroskopie - Verfahren zur Tiefenprofilanalyse von Arsen in Silicium
Englischer Titel
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of arsenic in silicon
Ausgabedatum
2010-11
Originalsprachen
Englisch
Seiten
13
Ausgabedatum
2010-11
Originalsprachen
Englisch
Seiten
13
Produktinformationen auf dieser Seite:
Schnelle Zustellung per Download oder Versand
Sicherer Kauf mit Kreditkarte oder auf Rechnung
Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung
Inhaltsverzeichnis
ICS
71.040.40
Normen mitgestalten
Sollten Sie Verständnisprobleme zum Inhalt der Norm haben oder Hilfe bei der Anwendung benötigen, wenden Sie sich bitte an den - hier genannten - zuständigen Ansprechpartner im DIN.