IEC 62047-6:2009-04

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen

Englischer Titel: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
Ausgabedatum: 2009-04
Originalsprachen: Englisch, Französisch
Seiten: 30

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