Halbleiterbauelemente - Integrierte Schaltungen - Teil 21: Rahmenspezifikation für integrierte Schicht- und Hybridschaltungen auf Grundlage des Bauartanerkennungsverfahrens
Englischer Titel
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 21: Sectional specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of the qualification approval procedure