Halbleiterbauelemente - Integrierte Schaltungen - Teil 21-1: Vordruck für Bauartspezifikation für integrierte Schicht- und Hybridschaltungen auf Grundlage des Bauartanerkennungsverfahrens
Englischer Titel
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 21-1: Blank detail specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of qualification approval procedures