Halbleiterbauelemente; Integrierte Schaltungen; Teil 20: Fachgrundspezifikation für Integrierte Schicht- und Hybridschaltungen; Hauptabschnitt 1: Anforderungen für die interne Sichtprüfung
Englischer Titel
Semiconductor devices; integrated circuits; part 20: generic specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits; section 1: requirements for internal visual examination