Halbleiterbauelemente; Integrierte Schaltungen; Teil 11; Hauptabschnitt 1: Interne Sichtprüfung vor dem Verschließen von integrierten Halbleiterschaltungen mit Ausnahme von Hybridschaltungen
Englischer Titel
Semiconductor devices; integrated circuits; part 11; section 1: internal visual examination for semiconductor integrated circuits excluding hybrid circuits