Chemische Analytik an Oberflächen - Tiefenprofilanalyse - Messung der Ionenstrahlzerstäubungs-Geschwindigkeit mittels der Gitter-Kopiermethode mit dem mechanischen Stylus Profilometer
Englischer Titel
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtering rate : mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer