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Diese Norm definiert die wichtigsten Mengen, die ein energiedispersives Röntgenspektrometer bestehend aus einem Halbleiter-Detektor, einem Vorverstärker und einer signalverarbeitenden Einheit als wichtigste Bestandteile charakterisieren. Diese Norm gilt nur für Spektrometer mit Halbleiterdetektoren, die mit dem Prinzip der Festkörperionisierung arbeiten. Diese Norm legt Mindestanforderungen fest und wie relevante instrumentelle Leistungsparameter bei solchen Spektrometern, die an ein Rasterelektronenmikroskop (REM) oder ein Elektronensondenmikroanalysengerät (EPMA) angebracht sind, überprüft werden müssen. Das für die eigentliche Analyse verwendete Verfahren ist in ISO 22309 und ASTM E15108 beschrieben. Das zuständige deutsche Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA "Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Dokument wurde ersetzt durch DIN ISO 15632:2022-09 .
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