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Norm [AKTUELL]

DIN ISO 15632:2022-09

Mikrobereichsanalyse - Ausgewählte instrumentelle Performanceparameter zur Spezifizierung und Überprüfung engergiedispersiver Röntgenspektrometer (EDS) für die Anwendung mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA) (ISO 15632:2021)

Englischer Titel
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021)
Ausgabedatum
2022-09
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
21

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Ausgabedatum
2022-09
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
21
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3369627

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt die wichtigsten Größen fest, die ein energiedispersives Röntgenspektrometer charakterisieren, das im Wesentlichen aus einem Halbleiterdetektor, einem Vorverstärker und einer Signalverarbeitungseinheit besteht. Dieses Dokument gilt ausschließlich für Spektrometer mit Halbleiterdetektor, die nach dem Prinzip der Festkörperionisierung funktionieren. Dieses Dokument legt die Mindestanforderungen fest und wie die relevanten Performanceparameter bei an einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA) angeschlossenen Spektrometer zu überprüfen sind. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA „Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse“ im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).

Inhaltsverzeichnis
ICS
71.040.99
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3369627
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt DIN ISO 15632:2015-11 .

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN ISO 15632:2015-11 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Titel ergänzt; b) Begriff 3.4 "Totzeit" detailliert; c) Begriff 3.14 "Nullpeak" aufgenommen; d) Abschnitt 4.1 "Allgemeine Beschreibung" um eine Anmerkung und den Literaturhinweis [5] ergänzt, die sich auf die aktive Nettosensoroberfläche beziehen.

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