Wir sind telefonisch für Sie erreichbar!
Montag bis Freitag von 08:00 bis 15:00 Uhr
DIN Media Kundenservice
Telefon +49 30 58885700-70
Norm [AKTUELL]
DIN 50451-7:2018-04
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 7: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salzsäure mittels ICP-MS
- Englischer Titel
- Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS
- Ausgabedatum
- 2018-04
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 14
- Ausgabedatum
- 2018-04
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 14
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/2809742
Produktinformationen auf dieser Seite:
Schnelle Zustellung per Download oder Versand
Sicherer Kauf mit Kreditkarte oder auf Rechnung
Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt Verfahren zur Prüfung von Salzsäure auf 31 Elemente im Spurenbereich fest, wobei als Bestimmungsverfahren die Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS) eingesetzt wird.
Dieses Dokument (DIN 50451-7) wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss "Materialprüfung" (NMP) erarbeitet.
Inhaltsverzeichnis
ICS
29.045
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2809742
Lade Empfehlungen...
Lade Empfehlungen...