Schichtdickenmessung und Charakterisierung von Oberflaechen mittels Oberflaechenwellen. Leitfaden zur Bestimmung von elastischen Konstanten, Dichte und Dicke von Schichten mittels laserinduzierten Ultraschall-Oberflaechenwellen
Englischer Titel
Thickness measurement of coatings and characterization of surfaces with surface waves. Guide to the determination of elastic constants, density and thickness of films by laser induced surface acoustic waves