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Norm [AKTUELL]
ISO 14644-9:2022-05
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Bewertung der partikulären Oberflächenreinheit
- Englischer Titel
- Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration
- Ausgabedatum
- 2022-05
- Originalsprachen
- Englisch
- Seiten
- 26
- Ausgabedatum
- 2022-05
- Originalsprachen
- Englisch
- Seiten
- 26
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ICS
13.040.35
Ersatzvermerk
Dieses Dokument ersetzt ISO 14644-9:2012-08 .
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