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Technische Regel [AKTUELL]
VDI/VDE 2655 Blatt 1.3:2020-02
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
- Englischer Titel
- Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement
- Ausgabedatum
- 2020-02
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 50
- Ausgabedatum
- 2020-02
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 50
Produktinformationen auf dieser Seite:
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Kurzreferat
Die Richtlinie charakterisiert die Interferenzmikroskope in ihren messtechnischen Eigenschaften zum Messen der Oberflächen von Formelementen. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit beim Messen von Form-Kenngrößen. Die beschriebenen Verfahren sind zusätzlich zu den in VDI 2655 Blatt 1.1 genannten Interferenzmikroskopen auch auf Interferometer anwendbar, deren Messfelder Abmessungen bis ca. Ø 20 mm haben können.
Inhaltsverzeichnis
ICS
17.180.01
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