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Technische Regel [ZURÜCKGEZOGEN]
VDI 2083 Blatt 7:2015-10
Reinraumtechnik - Reinstmedien - Qualität, Bereitstellung, Verteilung
- Englischer Titel
- Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution
- Ausgabedatum
- 2015-10
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 76
- Ausgabedatum
- 2015-10
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 76
Produktinformationen auf dieser Seite:
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Kurzreferat
Die Richtlinie befasst sich mit der Spezifikation von Reinstmedien (Dampf, Gasen und Chemikalien) für Prozesse in der Reinraumtechnik sowie mit den Verteilsystemen für solche Medien. Die Richtlinie bietet eine Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb und Überwachung von Reinstmedien-Versorgungssystemen, und unterstützt Planer, Systemlieferanten und Betreiber in ihrer Arbeit. Sie ist vorgesehen als Ersatz für VDI 2083 Blatt 7 und Blatt 10.
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk
Dieses Dokument ersetzt VDI 2083 Blatt 10:1998-02 , VDI 2083 Blatt 7:2006-11 .
Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 7:2025-01 .
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