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Technische Regel [AKTUELL]

ISO/TR 16268:2009-10

Chemische Oberflächenanalyse - Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials

Englischer Titel
Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
Ausgabedatum
2009-10
Originalsprachen
Englisch
Seiten
19

ab 142,50 EUR inkl. MwSt.

ab 133,18 EUR exkl. MwSt.

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Ausgabedatum
2009-10
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Englisch
Seiten
19

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