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Technische Regel [AKTUELL]
ISO/TR 16268:2009-10
Chemische Oberflächenanalyse - Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials
- Englischer Titel
- Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
- Ausgabedatum
- 2009-10
- Originalsprachen
- Englisch
- Seiten
- 19
- Ausgabedatum
- 2009-10
- Originalsprachen
- Englisch
- Seiten
- 19
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