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Technische Regel Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]
VDI 2083 Blatt 3:2020-02 - Entwurf
Reinraumtechnik - Messtechnik
- Englischer Titel
- Cleanroom technology - Metrology
- Ausgabedatum
- 2020-02
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 31
- Ausgabedatum
- 2020-02
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 31
Produktinformationen auf dieser Seite:
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Kurzreferat
In dieser Richtlinie werden Messverfahren für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche beschrieben, die bei der Übergabe, im Rahmen der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt werden. Die hier beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet. Die Richtlinie gilt für erstmalige und einmalige Messungen sowie die fortlaufende oder periodische Überwachung. (Kontinuierliche Messungen zum Zweck des Monitorings werden in VDI 2083 Blatt 3.1 beschrieben.) Die spezifizierten Methoden sind für die Übergabe von reinraumtechnischen Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen und sollen, soweit möglich, anwenderspezifische Verfahren ersetzen.
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk
Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 3:2021-08 .
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