Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie)
Englischer Titel
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
Ausgabedatum
2013-10
Originalsprachen
Englisch
Seiten
28
Ausgabedatum
2013-10
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28
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ICS
17.040.40
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