Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistung von Vakuumpumpen - Teil 5: NEG-Vakuumpumpen
Englischer Titel
Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps
Ausgabedatum
2023-11
Originalsprachen
Englisch
Seiten
27
Ausgabedatum
2023-11
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27
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ICS
23.160
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