DIN EN ISO 14644-10:2013-06

Dieses Dokument (FprEN ISO 14644-10:2012) wurde im Technischen Komitee ISO/TC 209 "Cleanrooms and associated controlled environments" in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 "Reinraumtechnologie", dessen Sekretariat vom BSI (Vereinigtes Königreich) gehalten wird, erarbeitet. Zuständig für die Deutsche Fassung ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA "Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)" im Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik (NHRS) im DIN Deutsches Institut für Normung e. V. Die Reihe DIN EN ISO 14644 "Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche" besteht aus den folgenden Teilen: Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration Teil 2: Festlegungen zur Prüfung und Überwachung zum Nachweis der fortlaufenden Übereinstimmung mit ISO 14644-1 Teil 3: Prüfverfahren Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme Teil 5: Betrieb Teil 6: Terminologie Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC) Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit Dieser Teil der Reihe ISO 14644 legt das Klassifizierungssystem für die Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieser Teil der Reihe ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie zum Beispiel Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.