DIN 51418-1:2025-05

Dieses Dokument legt allgemeine Begriffe und Grundlagen für die Röntgenfluoreszenzanalyse von festen und flüssigen Materialien fest. In diesem Dokument sind Grundlagen und Begriffe zur Planung von Analysen, zur Probenvorbereitung, zur Kalibrierung/Auswertung und zur Betrachtung von Messunsicherheiten nicht enthalten. Diese werden gesondert in DIN 51418-2 behandelt. Die Röntgenfluoreszenzanalyse ist eine analytische Methode zur Identifizierung der in einer Substanz enthaltenen chemischen Elemente und zur Bestimmung von deren Menge beziehungsweise zur Bestimmung der Dicke von Schichten. Zu diesem Zweck wird die Substanz zur Aussendung elementspezifischer Strahlung angeregt, deren spektrale Zusammensetzung diese Informationen enthält. Ziel dieses Dokuments ist es, die Verwendung von Fachbegriffen für die Röntgenfluoreszenzanalyse zu vereinheitlichen und auch, so weit wie möglich, deren Übereinstimmung mit den verschiedenen Gebieten der optischen Atomspektralanalyse: Optische Emissionsspektralanalyse (OES), Atomabsorptionsspektralanalyse (AAS) und Atomfluoreszenzspektralanalyse (AFS) zu erreichen. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-08-15 AA "Grundlagen der analytischen Atomspektroskopie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.