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Dieses Dokument stellt allgemeine Begriffe und Grundlagen für die Röntgenfluoreszenzanalyse von festen und flüssigen Materialien zur Verfügung. In diesem Dokument sind Grundlagen und Begriffe zur Planung von Analysen, zur Probenvorbereitung, zur Kalibrierung/Auswertung und zur Betrachtung von Messunsicherheiten nicht enthalten. Diese werden gesondert in DIN 51418-2 behandelt. Die Röntgenfluoreszenzanalyse ist eine analytische Methode zur Identifizierung der in einer Substanz enthaltenen chemischen Elemente und zur Bestimmung von deren Menge beziehungsweise zur Bestimmung der Dicke von Schichten. Zu diesem Zweck wird die Substanz zur Aussendung elementspezifischer Strahlung angeregt, deren spektrale Zusammensetzung diese Informationen enthält. Ziel dieses Dokuments ist es, die Verwendung von Fachbegriffen für die Röntgenfluoreszenzanalyse zu vereinheitlichen und auch, so weit wie möglich, deren Übereinstimmung mit den verschiedenen Gebieten der optischen Atomspektralanalyse: Optische Emissionsspektralanalyse (OES), Atomabsorptionsspektralanalyse (AAS) und Atomfluoreszenzspektralanalyse (AFS) zu erreichen. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-08-15 AA "Grundlagen der analytischen Atomspektroskopie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Gegenüber DIN 51418‑1:2008‑04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) das Dokument liegt nun in zweisprachiger Ausführung vor - deutsch und englisch; b) die folgenden Begriffe wurden hinzugefügt: Energieniveau, Satellitenlinie, verbotene Linie, Glühkathodenröhre, Legierungsanodenröhre, Target, polarisierendes Sekundärtarget, Braggtarget, fokussierende Optik, fokussierende Kapillaroptik, fokussierende Monokapillare, fokussierende Polykapillare, fokussierende Diffraktionsoptik, Röntgenfluoreszenzanregung, elastische Streuung, inelastische Streuung, Kollimator, transportables RFA-Spektrometer, prozessintegriertes RFA-Spektrometer, wellenlängendispersives Spektrum, Winkelkalibrierung, Peakasymmetrie, Detektoruntergrund, elektronischer Rauschuntergrund, Rohdaten des Messvorgangs, XY-Tisch; c) die deutsche Vorzugsbenennung der folgenden Begriffe wurde geändert: angeregter Zustand (vormals Röntgenniveau), Barklatarget (vormals Barkla-Polarisationstarget), polarisierendes Braggtarget (vormals Bragg-Polarisationstarget), Begrenzungsblende des Primärstrahls (vormals primäre Strahlbegrenzungsblende), zylindrische Monokapillare (vormals Monokapillare), Begrenzungsblende des Sekundärstrahls (vormals sekundäre Strahlbegrenzungsblende), Detektor (vormals Strahlungsempfänger), abgeschlossener Detektor (vormals geschlossener Detektor), Szintillationsdetektor (vormals Szintillationszähler), Detektor-Tandemanordnung (vormals Detektor-Tandembetrieb), RFA-Handspektrometer (vormals Handspektrometer), Auflösung (vormals energetische Auflösung), Peaküberlagerung (vormals Linienüberlagerung), Compton-Escape (vormals Comptonuntergrund); d) die Definition verschiedener Begriffe wurde überarbeitet; e) die folgenden Begriffe wurden gestrichen: Fluoreszenzintensität, Kapillaroptik, Polykapillare, Polarisationstarget, Sekundär-Polarisationstargets, spezielle Röntgenoptik, Ergebnisse des Messvorgangs, Shelf, Tailing, Röntgenspektrometer mit Sekundärtargets, online Spektrometer; f) dem Dokument wurde ein Index für die englischsprachigen Begriffe beigefügt; g) der ehemalige Anhang A "Erläuterungen" wurde entfernt; h) das Dokument wurde redaktionell überarbeitet.
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