DIN 50451-1:2003-04

Dieses Dokument ersetzt DIN 50451-1:1987-10 .

a) Anwendungsbereich erweitert auf die Elemente Calcium (Ca), Eisen (Fe), Kalium (K) und Natrium (Na); b) Anwendungsbereich erweitert auf Elementspuren-Massenanteile von 1 ng/g bis 50 ng/g auf 0,1 ng/g bis 50 ng/g; c) Anwendungsbereich erweitert auf andere in der Halbleitertechnologie eingesetzte verdampfbare Flüssigkeiten; d) normative Verweisungen aktualisiert; e) im Abschnitt "Probenahme" niedrigster Metallspuren-Massenanteil des jeweiligen Elementes nach Anreicherung festgelegt; f) maximale Messunsicherheit der Wägung der Teilprobe von 1 % auf 5 % erhöht; g) im Abschnitt "Vorbehandlung der Proben" nach Eindampfen der Teilprobe Erwärmung des Eindampfgefäßes auf 80 °C und anstelle der Zugabe von 50 ml bis 1 000 ml Königswasser 100 µl bis 500 µl Salpetersäure und 50 µl bis 250 µl Salzsäure festgelegt; h) Mindestanzahl der durchzuführenden Messungen je Messlösung von fünf auf drei reduziert; i) Festlegungen zur Kalibrierung präzisiert; j) Abschnitt "Berechnung und Angabe der Ergebnisse" ergänzt; k) im Abschnitt "Präzision des Verfahrens" ermittelte Variationskoeffizienten für Ca, Cu und Fe bei Massenanteilen von 0,5 ng/g bis 1 ng/g ergänzt; l) Festlegungen im Abschnitt "Prüfbericht" präzisiert und ergänzt; m) Literaturhinweise aufgenommen; n) Text redaktionell überarbeitet.