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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50450-9:2003-04
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger - und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
- Englischer Titel
- Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C₁-C₃-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography
- Ausgabedatum
- 2003-04
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 5
- Ausgabedatum
- 2003-04
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 5
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/9451435
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ICS
29.045,
71.100.20
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/9451435
Ersatzvermerk
Dokument wurde ersetzt durch DIN 50450-9:2021-07 .
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