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Norm [AKTUELL]
DIN 50450-2:1991-03
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle
- Englischer Titel
- Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N₂, Ar, He, Ne and H₂ by using a galvanic cell
- Ausgabedatum
- 1991-03
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 2
- Ausgabedatum
- 1991-03
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 2
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/2406706
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