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Technische Regel [ZURÜCKGEZOGEN]
VDI 2083 Blatt 4:1996-02
Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit
- Englischer Titel
- Cleanroom technology - Surface cleanliness
- Ausgabedatum
- 1996-02
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 51
- Ausgabedatum
- 1996-02
- Originalsprachen
- Deutsch, Englisch
- Seiten
- 51
Produktinformationen auf dieser Seite:
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Kurzreferat
Das Dokument behandelt das Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheit auf Oberflächen in reinen Bereichen. Es umfaßt die Klassifizierung der Oberflächenreinheit, die Anforderungen an die Reinheit und die darauf bezogenene Gebrauchstüchtigkeit von Oberflächen; die Verfahren zur Reinigung und Dekontamination von Oberflächen; die Methoden zum Nachweis der Oberflächenreinheit.
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk
Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 5.1:2007-09 , VDI 2083 Blatt 9.1:2006-12 .
Auch enthalten in
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