Kurzreferat
Das Dokument soll den Dialog zwischen Anbietern und Kunden erleichtern. Ziel ist die Vereinheitlichung technischer Begriffe. Es gilt für Maschinen und Anlagen der plasmagestützten Oberflächentechnik, in denen mit Hilfe von ionisierten Gasteilchen, Metalldämpfen sowie den Dämpfen einiger Nichtmetalle die Oberflächen von metallischen bzw. nichtmetallischen Bauteilen beschichtet oder modifiziert werden. Plasmagestützte Verfahren im Sinne dieses Einheitsblattes sind Verfahren, die ausschließlich im Vakuum durchgeführt werden.