VDI 2083 Blatt 8.1:2009-07

Diese Richtlinie behandelt die Kontrolle und Bestimmung chemischer Kontamination in Reinräumen zum Schutz von Prozess, Produkt und Personal. Sie legt allgemeine Grundsätze zur Behandlung, Handhabung, Vermeidung und Verminderung chemischer Kontamination in Reinräumen fest. Diese Grundsätze basieren auf den Leistungsmerkmalen bekannter und verfügbarer technischer Lösungen sowie auf den ökonomischen Merkmalen dieser Lösungen. Es ist ausdrücklich darauf verwiesen, dass andere Medien als die Luft ebenfalls Träger von Verunreinigungen in Form von AMC sein können, die Produkte, Prozesse und den Menschen beeinträchtigen können. Dies sind insbesondere Wasser, wässrige Lösungen, weitere Prozessflüssigkeiten und Prozessgase. Die chemische Kontamination dieser Medien hat Auswirkungen in allen betroffenen produzierenden Industrien, z.B. der Mikroelektronik, Optik, dem Bereich Nahrungs- und Genussmittel, der Pharmazie, Gentechnik und Medizintechnik. Die molekulare Kontamination flüssiger und gasförmiger Prozessmedien ist jedoch nicht Bestandteil dieser Richtlinie. Der Geltungsbereich dieser Richtlinie umfasst alle Produktions- und Lagerbereiche betroffener Industrien unter Reinraumbedingungen, in denen Produkte und Prozesse durch AMC beeinflusst werden können.

13.040.35

Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 8.1:2014-10 .