VDI 2083 Blatt 3.1:2012-06

Diese Richtlinie behandelt die dauernde anlagenbezogene messtechnische Überwachung einzelner Parameter von reinraumtechnischen Anlagen. Die Überwachung kann kontinuierlich (z.B. Druck, Temperatur, Feuchte) oder sequenziell (z.B. Mikrobiologie) erfolgen. Die Richtlinie gilt für das sogenannte klassische Monitoring im Sinne der dauernden Überwachung von Parametern, nicht jedoch für wiederkehrende Messungen zur Qualifizierung. Die Richtlinie beinhaltet keine Beschreibung von mikrobiologischen Untersuchungen. Es werden Verfahren zur Durchführung von Messungen an reinraumtechnischen Anlagen spezifiziert und die dafür geeigneten Messgeräte beschrieben, um diese als Standard für die Überwachung festzulegen.Die Vorgaben zu den Überwachungsmessungen haben zum Ziel, den Anwender bei der Auswahl von Methoden zu unterstützen, die es ermöglichen, anlagen- und prozessbedingte Abweichungen von den Anforderungen im Betrieb zu ermitteln. Diese Richtlinie gilt nicht für die Überwachung von Reinräumen mit Datenloggern, welche die aufgenommenen Daten lediglich speichern und in Intervallen ausgelesen werden. Datenlogger hingegen, welche die aufgenommenen Daten unmittelbar an ein übergeordnetes System weiterreichen und die daher im strengen Sinne nur als Sensoren betrieben werden, sind nicht ausgeschlossen.

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