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Technische Regel [AKTUELL]
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Diese DIN SPEC 91399 wurde im Zuge des PAS-Verfahrens durch einen Workshop (temporäres Gremium) erarbeitet. Die Erarbeitung und Verabschiedung des Dokuments erfolgte durch die im Geschäftsplan genannten Verfasser. Diese DIN SPEC legt Anforderungen und Randbedingungen für die Bestimmung von Prozesseingangsgrößen für das elektrochemische Präzisionsabtragen fest und definiert den experimentellen Aufbau und Prozessgrößen. Die notwendigen Arbeitsschritte für die Abtragexperimente und die Ableitung der Prozesseingangsgrößen werden beschrieben. Diese DIN SPEC gilt ausschließlich für das elektrochemische Präzisionsabtragen mit gepulstem Strom und oszillierendem Arbeitsabstand.