Halbleiterbauelemente - Integrierte Schaltungen - Teil 23-5: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen; Zertifizierung von Fertigungslinien; Verfahren für die Bauartanerkennung
Englischer Titel
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 23-5: Hybrid integrated circuits and film structures; Manufacturing line certification; Procedure for qualification approval