Halbleiterbauelemente - Integrierte Schaltungen - Teil 23-4: Integrierte Hybridschaltungen und Schichtstrukturen; Zertifizierung von Fertigungslinien; Vordruck für die Bauartspezifikation
Englischer Titel
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 23-4: Hybrid integrated circuits and film structures; Manufacturing line certification; Blank detail specification